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ACU20FP
低蒸氣壓質量流量控制器
型號：ACU20FP
產品介紹
    在制造薄膜材料過程中，傳統的液體輸送方法存在固體前驅體溶解度限制的問題，導致無法輸送足夠的材 料，從而影響生產效率。ACU20FP低蒸氣壓質量流量控制器，專為薄膜工藝而設計，能夠精確控制固體前驅 體輸送到化學氣相沉積(CVD)反應器。
產品應用
半導體  高校實驗室  真空鍍膜  光電材料
太陽能  化學品制造  航空航天  汽車行業 

資料下載

下載

  • 一、產品概述

    ACU20FP采用了先進的壓力測量和控制技術，能夠精確控制固體前驅體的輸送流量，確保沉積過程的穩定性和一致性，從而獲得高質量的薄膜材料。此外，ACU20FP擁有多種控制方式和連接接口以滿足多樣化需求。


    二、產品應用


    半導體  高校實驗室  真空鍍膜  光電材料
    太陽能  化學品制造  航空航天  汽車行業 

    三、產品參數

    量程范圍 10SCCM～250SCCM
    測控范圍 閥控范圍50:1
    準確度
    		 ±1%F.S   
    線性
    		 ±0.1%F.S
    重復精度
    		 ±0.2%F.S
    溫度系數 ±0.02%F.S/℃
    響應時間
    流量控制器：<2s
    數字量 profibus協議
    模擬量 0～5V、4-20mA、1～5V
    供電 ±15VDC，24VDC
    工作溫度 0～50℃
    工作壓力 工作壓降：<0.01Mpa
    最大耐壓 3MPa/10MPa
    電氣連接 DB9孔
    漏率 1×10-9Pa m3/S
    溫度系數 ±0.025%F.S/℃
    底座材質 不銹鋼
    密封材質 氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠
    接頭 φ3，φ6，1/8"，1/4"


    四、產品尺寸




    五、可選配套測控軟件 （另外收取費用）

            質量流量測控系統V5.0